真空泵的询价里，最常被漏掉的不是抽速，而是"要抽到多低的压力"。工艺要的是粗真空（几十千帕）还是高真空（零点几帕），决定了选旋片泵、涡旋泵还是液环泵，也决定了要不要多级串接。只写"抽气量多少"往往选不出对得上的设备。
真空泵出口，写清"目标工作压力与极限压力、所需抽速、抽的是什么气体、接口与介质条件"，泵型才有依据。真空度与抽速是两个独立指标，不能互相替代。
真空泵按原理分三大类
真空泵把气体从密闭空间中抽出，形成部分真空。按工作原理可分为三类：容积式（正排量）泵反复扩张腔体、让气体流入后封住并排到大气；动量传递泵（也称分子泵）用高速射流或高速旋转叶片把气体分子推出腔体；捕集泵（如低温泵、吸气剂泵、离子泵）则把气体以固态或吸附态捕获（Wikipedia：Vacuum pump）。正排量泵最擅长低真空，动量传递泵通常与一到两级正排量泵配合来获得高真空（同上）。这一步先确定了选型的"大方向"。
不同型式的极限压力差很多
常见的正排量泵包括油旋片泵、隔膜泵（无油污染）、液环泵（耐粉尘）、活塞泵、涡旋泵（干式泵中速度高）、罗茨泵（也称增压泵，抽速最高但压缩比低）以及多级罗茨泵等（同上）。它们的极限压力差异明显：橡胶和塑料密封的活塞泵系统基准压力约为 1 到 50 kPa，涡旋泵（新泵）可达 10 Pa，而清洁空载金属腔内的油旋片泵可以轻松达到 0.1 Pa（同上）。所以"能达到多少帕"必须写在需求里，供应商才能给出对应泵型，而不是只按抽速报价。
| 资料项 | 含义与写法 | 常见遗漏 |
|---|---|---|
| 目标压力 | 工艺所需工作压力与极限压力（Pa 或 mbar） | 只写抽速 |
| 抽速 | 入口处的体积流量，注明对应哪些气体 | 不写气体种类 |
| 气体与介质 | 是否含粉尘、蒸汽、腐蚀性气体 | 不提粉尘与冷凝 |
| 型式 | 旋片 / 涡旋 / 液环 / 罗茨 / 隔膜 | 不说明是否需要无油 |
| 接口 | 进气口与排气口规格、法兰标准 | 不写接口尺寸 |
| 运行条件 | 环境温度、冷却方式、电源 | 不写冷却方式 |
抽速和吞吐量的区别
抽速指泵入口处的体积流量，常用单位时间体积表示；吞吐量指抽速乘以入口压力，单位是压力×体积/时间，在恒温下与单位时间被抽走的气体分子数成正比（同上）。需要注意，动量传递泵和捕集泵对不同气体的效果不同，所以同一台泵抽不同气体的实际抽速会不一样（同上）。这就是为什么只报一个抽速数字、不说明气体种类，在工艺侧并不够用。
为什么常用两级搭配
正排量泵由于机械限制只能达到低真空，要做到更高真空通常需要串联使用其他技术，一般先由正排量泵快速把压力降到粗真空，再接扩散泵或涡轮分子泵（同上）。此外，动量传递泵不能在常压下启动，必须由正排量泵先抽到低真空并为其出口维持低压，否则会发生"反流/失速"（同上）。这也解释了真空系统资料里为什么要写清"前级泵"和"主泵"的分工。如果整套系统还要接气动或真空执行元件，接口与压力等级的写法可参照液压与气动元件的螺纹、压力等级与密封材料；设备电控与联锁可参考成套控制柜的 I/O 表与接线图。
真空泵询价清单
- 工况：目标工作压力、所需极限压力、抽除的气体种类与温度。
- 抽速：所需抽速（注明气体），是否需要两级或前级泵。
- 型式与油：旋片/涡旋/液环/罗茨/隔膜，是否要求无油。
- 介质条件：粉尘、蒸汽、腐蚀性，是否需要过滤器或冷凝器。
- 接口与安装：进气/排气口规格、冷却方式、安装空间与噪声。
- 文件：性能曲线、极限压力说明、操作与维护手册。
具体极限压力、抽速和泵型以供应商性能曲线、抽气介质实测和工艺要求为准。
参考来源
- Wikipedia，Vacuum pump（真空泵定义与三类工作原理、正排量泵适合低真空且动量传递泵需配合前级泵、常见泵型与用途、活塞泵 1–50 kPa／涡旋泵 10 Pa／油旋片泵 0.1 Pa 的极限压力差异、抽速与吞吐量定义及对不同气体抽速不同、动量传递泵不能在常压启动与反流失速）。